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布局集成電路工藝檢測設備中微公司擬對上海睿勵投資1375萬元

作者:本站    發布于:2019年08月21日 21時15分37秒   

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(688012)8月21日晚間,基于經營戰略發展考慮,擬對上海睿勵進行投資。上海睿勵的投前估值為1.18億元。中微公司擬投資1375萬元獲得約10.41%的股權。本次投資將使中微公司能夠布局集成電路工藝檢測設備領域。

上述投資構成關聯交易。上海睿勵系中微公司董事朱民擔任董事的企業,且上海睿勵第一大上海創業投資有限公司系中微公司董事沈偉國擔任執行董事的企業。

上海睿勵成立于2005年6月,成立以來,已獲得多家國資機構投資,累計投資金額超過2億元。財務方面,上海睿勵2018年實現2733.02萬元,為-4037.23萬元。

上海睿勵是國內技術領先的集成電路工藝檢測設備供應商,其目前擁有的主要產品包括光學檢測設備、硅片厚度及翹曲測量設備及子公司宏觀缺陷檢測設備等。還承擔了2009年和2011年兩項國家極大規模集成電路制造技術及成套工藝項目。

公告顯示,上海睿勵自主研發的12英寸光學測量設備TFX3000系列產品,已應用在28納米芯片生產線并在進行14納米工藝驗證,在3D存儲芯片上達到64層的檢測能力。產品目前已成功進入世界領先芯片客戶3D閃存芯片生產線,并取得7臺次重復訂單,是目前進入該國際領先芯片生產企業唯一的國產集成電路設備產品。上海睿勵產品還進入國內多家領先芯片生產企業生產線。

此外,上海睿勵應用于LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學檢測設備,也已成功進入眾多客戶國內LED外延芯片生產線。

中微公司表示,公司在集成電路刻蝕設備領域的研發和市場化方面已經取得了一定的成果,前期通過投資國內領先的薄膜設備公司沈陽拓荊在集成電路薄膜設備領域進行了布局。




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